國家大基金二期布局半導(dǎo)體設(shè)備零部件的最新動向，讓國內(nèi)設(shè)備零部件企業(yè)再次站上風(fēng)口。
3月31日，萬業(yè)企業(yè)(600641.SH)公告稱，大基金二期、上海半導(dǎo)體裝備材料產(chǎn)業(yè)投資基金合伙企業(yè)(有限合伙)擬向公司參股子公司浙江鐠芯分別增資3.5億、0.4億元。本次增資后，大基金二期持股17.284%。資料顯示，浙江鐠芯持有鐠芯控股73.11%股權(quán)，鐠芯控股則持有全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體設(shè)備零部件供應(yīng)商Compart100%股權(quán)。
Compart是全球極少數(shù)可完成流量控制領(lǐng)域零組件精密加工全部環(huán)節(jié)的公司之一，產(chǎn)品主要包括氣體輸送零部件、組件、密封件、氣棒總成、質(zhì)量流量控制器(MFC)等，是集成電路行業(yè)中高端MFC組件的領(lǐng)先者，在中國深圳及馬來西亞庫林擁有兩座工廠。
值得注意的是，這是大基金首次布局半導(dǎo)體設(shè)備零部件環(huán)節(jié)。事實(shí)上，已有多家A股上市公司進(jìn)軍半導(dǎo)體設(shè)備零部件領(lǐng)域，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備零部件行業(yè)真的迎來春天了嗎？
晶圓廠擴(kuò)產(chǎn)拉動半導(dǎo)體設(shè)備及零部件需求
全球缺芯潮之下，晶圓廠不斷擴(kuò)產(chǎn)，投資額也不斷拉高。
據(jù)不完全統(tǒng)計，臺積電、三星、SK海力士、英特爾、中芯國際、華虹半導(dǎo)體等晶圓廠在近兩年都有不同規(guī)模的新增產(chǎn)能投入。國際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(SEMI)估計，2021年中國大陸的芯片廠房建設(shè)投資有望創(chuàng)下180億美元?dú)v史新高，2022年將進(jìn)一步提升至270億美元，同比增長50%。
SEMI預(yù)測，2021年全球半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模將達(dá)953億美元，同比增長34%；2022年這一數(shù)字有望達(dá)到1013億美元，同比增長6%；2020-2022年復(fù)合增長率(CAGR)達(dá)到19%。
據(jù)悉，目前全球半導(dǎo)體零部件市場主要包括兩部分：一是全球半導(dǎo)體設(shè)備廠商定制生產(chǎn)或采購的零部件及相關(guān)服務(wù)。VLSI數(shù)據(jù)顯示，2020年半導(dǎo)體設(shè)備子系統(tǒng)市場銷售規(guī)模接近100億美元，其中維修和支持服務(wù)占46%，零部件產(chǎn)品銷售占32%，替換升級占22%；二是全球半導(dǎo)體制造廠直接采購的作為耗材或備件的零部件及相關(guān)服務(wù)。
從市場格局來看，美國、日本公司在半導(dǎo)體設(shè)備零部件方面處于壟斷地位。據(jù)ICWorld2020公開的20類半導(dǎo)體核心零部件產(chǎn)品的44家主要供應(yīng)商，其中美國供應(yīng)商有20家，約占45%，日本供應(yīng)商16家，約占36%。此外，還有2家德國供應(yīng)商、2家瑞士供應(yīng)商、2家韓國供應(yīng)商、1家英國供應(yīng)商。
雖然第一財經(jīng)此前調(diào)研發(fā)現(xiàn)，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠和半導(dǎo)體制造廠更傾向于使用本土零部件，但據(jù)光大證券，目前國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備零部件企業(yè)的技術(shù)能力、工藝水平、產(chǎn)品精度和可靠性與海外差距較大，整體國產(chǎn)化率僅為10%-30%，尤其是在Compart相關(guān)的流量控制領(lǐng)域，之前的國產(chǎn)化率幾乎為零。
不過，目前本土半導(dǎo)體設(shè)備零部件廠商在鈑金件、金屬件、腔體等一些技術(shù)壁壘相對容易突破的領(lǐng)域已經(jīng)完成了一定程度的國產(chǎn)化，甚至海外頭部半導(dǎo)體設(shè)備廠商出于成本優(yōu)化的考量，也會向本土廠商采購相應(yīng)的零部件。
另據(jù)芯謀研究，2020年中國大陸晶圓廠直接采購零部件金額超過10億美元。剔除三星等海外廠商在我國的產(chǎn)線，中芯國際、華虹集團(tuán)、長江存儲、合肥長鑫等國內(nèi)晶圓廠直接采購零部件金額約4.3億美元。
多家上市公司布局半導(dǎo)體設(shè)備零部件
目前國內(nèi)已有多家企業(yè)布局半導(dǎo)體設(shè)備零部件環(huán)節(jié)，包括英杰電氣(300820.SZ)、萬業(yè)企業(yè)、新萊應(yīng)材(300260.SZ)、靖江先鋒、晶盛機(jī)電(300316.SZ)、江豐電子(300666.SZ)等。
英杰電氣主要供應(yīng)設(shè)備用功率控制器、射頻電源等，配套MOCVD、藍(lán)寶石爐、碳化硅設(shè)備等。2017年，公司實(shí)現(xiàn)PD系列可編程直流電源的大批量生產(chǎn)和替代，成為國內(nèi)為數(shù)較少的能夠生產(chǎn)該類電源產(chǎn)品的供應(yīng)商，也是現(xiàn)階段國內(nèi)MOCVD設(shè)備主要制造商中微半導(dǎo)體境內(nèi)MOCVD電源的供應(yīng)商。
資料顯示，MOCVD(薄膜沉積)設(shè)備是LED制造中最重要的設(shè)備，占LED生產(chǎn)線近50%成本。此前MOCVD設(shè)備市場一直由海外企業(yè)主導(dǎo)(德國AIXTRON、美國VEECO)。
萬業(yè)企業(yè)2020年12月通過聯(lián)合收購新加坡Compact布局半導(dǎo)體零部件業(yè)務(wù)。Compact主營業(yè)務(wù)包括BTP組件、裝配件、密封件、氣棒總成、MFC質(zhì)量流量控制器、焊接件，核心客戶包括UCT、ICHOR等，終端客戶包括應(yīng)用材料和泛林半導(dǎo)體等。目前Compact收入規(guī)模在1億美元左右。
新萊應(yīng)材主營半導(dǎo)體產(chǎn)品為構(gòu)成高潔凈流體管路系統(tǒng)和超高真空系統(tǒng)之關(guān)鍵組件，包括真空室、泵、閥、法蘭、管道和管件等，客戶包括美商應(yīng)材、LAM、北方華創(chuàng)、中微半導(dǎo)體等。公司還于2019年底發(fā)行可轉(zhuǎn)債募資2.8億元加大投入半導(dǎo)體氣體系統(tǒng)。
此外，中微公司(688012.SH)全資子公司中微惠創(chuàng)具備廢氣處理裝置的制造能力；北方華創(chuàng)全資子公司北方華創(chuàng)微電子2020年收購關(guān)聯(lián)方北廣科技持有的射頻應(yīng)用技術(shù)相關(guān)資產(chǎn)，在電氣類零部件方面，北廣科技具備一定的可編程電源、射頻電源生產(chǎn)能力。
在半導(dǎo)體關(guān)鍵輔材耗材方面，晶盛機(jī)電建立了以高純石英坩堝、拋光液及半導(dǎo)體閥門、管件、磁流體、精密零部件為主的產(chǎn)品體系。其已向客戶批量銷售32英寸合成坩堝，并研發(fā)了36英寸石英坩堝。
江豐電子半導(dǎo)體零部件主要布局PVD機(jī)臺用ClampRing、Collimator，CVD、etching機(jī)臺用faceplate、showerhead等，化學(xué)機(jī)械研磨機(jī)臺用金剛石研磨片、RetainingRing等。
天風(fēng)證券認(rèn)為，半導(dǎo)體設(shè)備零部件受到下游晶圓廠擴(kuò)產(chǎn)拉動設(shè)備采購需求的影響，同時本土半導(dǎo)體設(shè)備廠商也有零部件國產(chǎn)化的需求，看似行業(yè)增長邏輯清晰，但考慮到設(shè)備零部件種類繁多，本土設(shè)備零部件是否能真的迎來行業(yè)春天，還要取決于設(shè)備廠商的國產(chǎn)化率提升速度，以及相關(guān)產(chǎn)業(yè)鏈公司的技術(shù)實(shí)力。
(馮麗君)